近日，山东理工大学微纳结构加工测试平台通过专家组验收。该平台作为目前国内先进的原子尺度表征的材料测试、分析、加工一体化平台，可有效提升山东理工大学在微纳结构分析领域的影响力，为我校学科建设、科学研究、服务社会及人才培养提供强有力的技术保障。

验收会议上，专家组听取了项目开展情况及设备到货、安装调试、试运行及性能与技术指标等相关汇报，查看了设备清单、仪器品牌、型号规格等资料，就仪器设备的性能参数指标和功能实现情况进行了质询，专家组认为平台设备的技术、性能指标达到技术协议的要求，同意通过验收。微纳结构加工测试平台是目前学校总价值最高的实验平台一起来了解一下吧！平台设备与价值

学校微纳结构加工测试平台包括球差校正透射电镜、超快透射电镜、聚焦离子束显微镜、场发射扫描电镜4台设备，总价值为3449.15万元。

平台设备功能球差校正透射电镜为山东省第一台配置双球差校正器（聚光镜和物镜球差校正器）的透射电镜，可以从亚原子尺度实现材料的微观形貌、晶体结构、微区成分分析。超快透射电镜是在场发射高分辨透射电镜的基础上改造的全球独有设备，可以在纳秒时间内观察材料微观形貌及晶体结构。聚焦离子束显微镜可以对固体材料精细加工，也能实现透射电镜样品的定点制备，为透射电镜提供高质量的样品，以获得精密的结果。场发射扫描电镜可以实现固体材料的表面微观形貌及元素分析。

微纳结构加工测试平台的4台设备可以实现从微米到皮米尺度范围的微观形貌、结构及成分分析，从而揭示物质内在显微结构与宏观性能的关系。

硅的（110）取向，原子排列。拍摄条件为工作电压300kV，放大倍数7.2Mx，HAADF-STEM模式，三阶球差系数为-0.006mm，电子束汇聚半角为25.3mrad。

平台实验室和人员配备情况

微纳结构加工测试平台的4台设备分别位于1号实验楼的1楼和负1楼，实验室面积近300平米。目前分析测试中心有扫描电镜专业技术人员9人、透射电镜专业技术人员5人，均具有博士学位，可为平台设备的顺利开展提供坚实的技术保障。平台设备将于2023年上半年陆续投入使用。